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        不同工藝進程的電池芯片掃描電鏡圖像

        發布日期: 2022-05-10
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        不同工藝進程的電池芯片掃描電鏡圖像

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        綜述:

        太陽能電池又稱為“太陽能芯片"或“光電池",是一種利用太陽光直接發電的光電半導體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到,瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產生電流。在物理學上稱為太陽能光伏。太陽能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對電池電性能影響很大,需要掃描電鏡進行觀測,從而控制電池質量。

        儀器介紹:  

        EM科特掃描電鏡,根據樣品倉大小或拓展分析附件能力,分為 CUBE系列掃描電鏡、GENESIS系列掃描電鏡、VERITAS系列掃描電鏡。

        試驗方法:

        取不同工藝進程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察??焖儆^察模式,照相時間 10s

        結論:

        EM科特掃描電鏡,可滿足硅太陽能電池制造工藝控制檢測需要。采用CUBE臺式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡,需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片,無損檢測。

        1、晶圓制絨結構掃描電鏡圖像

        1、晶圓制絨結構掃描電鏡圖像.png

        2、晶圓表面Saw damage etching

        3、鋁漿電極掃描電鏡圖像


























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        4、銀漿電極掃描電鏡圖像

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        100000x 納米銀粉顆粒



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